仪器名称：俄歇电子能谱（AES）
型号：Thermo Scientific Escalab 250Xi
检测项目：
1.能分析≥20nm直径的异物成分，且异物的厚度不受限制（能达到单个原子层厚度，0.5nm）。
2.利用AES的深度溅射功能测试≥3nm膜厚厚度。
3.利用D-SIMS结合AES能准确测定各层薄膜厚度及组成成分。
应用范围：
应用于鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在俄歇电子来极表面甚至单个原子层，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，广泛应用于材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。
制样要求：
1.样品最大规格尺寸为1×1×0.5cm，当样品尺寸过大需切割取样。
2.取样的时候避免手和取样工具接触到需要测试的位置，取下样品后使用真空包装或其他能隔离外界环境的包装， 避免外来污染影响分析结果。
3.由于AES测试深度太浅，无法对样品喷金后再测试，所以绝缘的样品不能测试，只能测试导电性较好的样品。
4.AES元素分析范围Li-U，只能测试无机物质，不能测试有机物物质，检出限0.1%。
